GasPro™過濾器TEM-150-24短管入口/出口技術(shù)規(guī)格
GasPro™TEM-100系列
•電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼，防止腐蝕和腐蝕粒子在內(nèi)表面上堆積。
•包裝外清潔度我們的加斯普羅™ 清潔TEM-100過濾器，并在無塵室內(nèi)包裝，不含有機(jī)成分處理包裝外、無顆粒和無化學(xué)品清潔度。終組件被清除用過濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。
•多種配件選項(xiàng)，便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封，壓縮、對(duì)焊和NPT。特殊配件，包括三夾（三葉草）衛(wèi)生和法蘭類型，可根據(jù)要求提供。
•氦泄漏測(cè)試所有裝置均以1x10-9 atm cc/秒的速度進(jìn)行測(cè)試。
零件號(hào)、入口/出口配件、過濾介質(zhì)/外殼、其他材料、長(zhǎng)度（L）
TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口
PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯
氟橡膠®密封件*899.9毫米（35.43英寸）
TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm（34.0"）
TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm（37.25"）
TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm（35.0"）
GasPro™TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24
GasPro™TEM-100系列濾光片的設(shè)計(jì)波長(zhǎng)為3 nm顆粒截留率高達(dá)300 scfm，以及溫度敢達(dá)80oC（176oF）。ePTFE膜（2.04m2/22.0平方英尺)帶著
聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在不銹鋼316L外殼，具有的流動(dòng)性和穩(wěn)定性耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton®o形圈（其他o形圈材料可在重新測(cè)試時(shí)獲得）。
應(yīng)用
•一般和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。
•用于關(guān)鍵平板工藝的氣體，包括襯底退火。
•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣，包括：前開口統(tǒng)一吊艙（FOUP）清潔和安裝光刻。
規(guī)格
•過濾等級(jí)我們的多孔ePTFE濾光片可提供有效的3納米濾光片顆粒保留。
•高工作溫度*80攝氏度（176華氏度）。
建議更換：在69oC（156oF）以上運(yùn)行6個(gè)月。
•大工作壓力在20°C（68°F）條件下為17.2bar（250 psig）。
•大正向流量壓差
20oC（68oF）：6.0bar（87磅/平方英寸）
80oC（176oF）：4.0bar磅/平方英寸）
